专业的温度管控，分别管控RT~1000℃与1000℃以上温度
更持久的高温持温能力，1000℃持温可达30min
稳定的1250℃控温能力
超高的温度精确度：温度精度可达±1℃
强大的温场管控能力：温度均匀度≤±1%
优秀的温度重复性：温度重复性≤±2℃
ITO镀膜后的退火制程
离子注入后的退火制程
合金化退火制程
以及更多的快速退火制程能力
专业的TC Wafer测温系统为RTP制程提供精确控温保障
成熟测温系统软件，具备Mapping功能，温度情况一目了然
多尺寸wafer可供选择，满足客户不同wafer尺寸控温要求
广东瑞乐半导体科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
瑞乐科技成立于2016年，主营业务为半导体前道晶圆制造制程设备的开发、制造。公司主要产品为快速退火炉与TC Wafer晶圆测温系统。公司的解决方案包括创新的控温与检测设备及生产工艺、控制软件和服务。公司总部位于广东省佛山市南海区万洋众创城。
瑞乐科技专注于晶圆控温及检测系统，以是一家高精度温度系统方案供应商。为IC集成电路及化合物半导体、MEMS芯片、LED芯片等特色工艺客户提供设备服务。
瑞乐科技以创新、专注、诚信正直、团队合作等核心价值观，深耕于半导体设备行业，一直致力于为国家半导体设备及控温技术国产化做出贡献。
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